多波長橢圓儀
多波長橢偏儀
詳細介紹

多波長橢偏儀

 

高速、高可靠度薄膜量測,監測薄膜沉積與蝕刻製成。

多波長量測不同材質、不同薄膜甚至透明薄膜及多層薄膜分析,不需耗費大量作業時間等候即可快速取得分析報告。

享單波長橢偏儀的價格,達全光譜橢偏儀的效能。

多波長優勢

  • 量測透明薄膜厚度

  • 其他參數量測,如:表面粗糙度、多層膜厚及分散係數等

  • 可連續監測參數,提供4種波長之分析報告

  • 參數分析可媲美光譜橢圓偏振器

 

產品特色

  • 量測反射之偏振光參數

  • 0.001奈米膜厚之量測

  • 多種LED光源,波長介於280-950奈米

  • 量測表面的光學常數(n值:折射係數、k值:吸收係數)

  • 搭載專屬軟體,輕鬆監控獲取數據分析


軟體特色

  • 網頁瀏覽介面,兼容所有電腦類性及支援任何程式

  • 可設定多種n&k值,以供更多樣量測數據,如下:

  1. 多層薄膜厚量測

  2. 同時量測橢圓偏振數和傳輸係數

  3. 波散模型

  • 多種分析模式

  • 模擬單一量測或動態數據以產出”差異與參數值報告"


 




FS-1™(第二代)橢偏儀

  • 4個波長,代替了原來的FS-1
  • 緊湊型光學元件:光源和檢測器110 x 80 x 60 mm
  • 光譜範圍略寬(450 – 660 nm)
  • 強度提高4倍(與原始FS-1相比)
  • 精度提高2倍
  • 原位對準更容易
  • 測量0至2μm厚度範圍內的單層透明膜的理想選擇,精度低至0.001 nm

FS-1EX™橢偏儀

  • 6個波長,405 – 950 nm光譜範圍
  • 緊湊型光學元件:光源137 x 80 x 60毫米,檢測器110 x 80 x 60毫米
  • 強度提高4倍(與原始FS-1相比)
  • 2個較長的波長(850和950 nm)可以測量較厚的透明膜(最大5μm),並可以吸收半導體膜(例如多晶矽,SiGe,非晶矽等)。
  • 膜電阻率測量(使用Drude模型)也隨著2個更長波長的使用而得到改善。
  • 6個波長和更寬的光譜範圍為多層膜堆疊提供了增強的測量能力。

FS-1UV™橢偏儀

  • 6個波長,光譜範圍為280 – 660 nm
  • 緊湊型光學元件:光源137 x 80 x 60毫米,檢測器110 x 80 x 60毫米
  • UV波長(280和305 nm)高於大多數半導體的帶隙,可以提高對成分的敏感性
  • 紫外線波長還可為透明基材和薄膜提供增強的折射率對比

基本光學量測規格

  FS-1TM (II) FS-1EXTM FS-1UVTM
波長數量 4個 6個 6個
光譜範圍 450-660奈米 405-905奈米 280-660奈米
光學系統 110x80x60毫米 光源 137x80x60毫米
檢測器 110x80x60毫米
光源 137x80x60毫米
檢測器 110x80x60毫米
特色 易於定位 2個長波長(850與950奈米)可量測較厚薄膜,
並可吸收半導體膜(多矽晶、矽鍺、非晶矽)
紫外線波長(280與305奈米)
適用於 0-2微米單層透明膜量測 多層膜堆疊量測 針對透明基材與薄膜的折射率
應用領域:薄膜製程、顯示器、LED、化工材料

FS-1EXTM搭載自動變換技術系列
FS-XY100及FS-RT300兩款由FS-1EXTM搭載不同變換平台,實現快速及精準薄膜均勻性的量。
  FS-XY150 FS-RT300
量測點位數 直徑15公分
49個點位
直徑30公分
49個點位
結構 60x60公分
16公斤
40x50公分
20公斤
移動平台 X, Y軸 線性移動/360度旋轉
解析度 5微米 12微米/0.1度
特色
  • 6段波長(405、450、525、660、850、950奈米)
  • LED光源
  • 0-5微米膜厚量測
  • 薄膜重複性:0.015奈米
  • 結合聚焦探針,光斑尺寸為0.8x1.9毫米
  • 透過Z軸,自動調整樣品

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