原子層沉積系統(ALD)設備

元鋒精密為PICOSUN高質量原子層沉積（ALD）薄膜塗層技術台灣區總代理，提供完整的解決方案。
Picosun的® ALD設備組合從全自動化、符合SEMI認證的分批和集群系統的高容量製造，到規模較小的研發和預試生產工具。憑藉世界一流的工藝質量，領先的設備設計以及最全面的工藝支持和客戶服務，掌握了經過生產驗證的IC, MEMS, LED, 傳感器和3D組件加工塗層解決方案。