多波長橢偏儀量測系統

 多波長橢偏儀量測系統

元鋒精密取得美國Film Sense橢圓偏光儀代理權,看準產業界對於ALD設備的需求日益提升,結合自家ALD的專業技術,打造多元產品線。

Film Sense 2013年創立於美國,創辦人Blaine Johs在橢圓偏光技術領域超過30年經驗與耕耘。結合軟、硬體,FILM SENSE多波長橢偏儀可整合客戶原有系統,以客製薄厚量測解決方案。

FILM SENSE多波長橢圓偏光儀外型小巧精緻、測量時間僅約10秒;使用LED光源而非傳統單一雷射、鹵素燈,光源壽命長而穩定;可提供多種波長,在不同基材上進行量測,是原子層沉積(ALD)應用的理想選擇。