Film Sense FS-1 在 ALD IN SITU 的應用

                      Film Sense FS-1 多波段橢偏儀是ALD應用的絕佳夥伴

  •  絕佳的厚度精度可以輕鬆解決每個ALD循環的亞單層厚度變化 
  •  FS-1的精簡設計簡化了嵌入ALD反應器的程序,以用於原位薄膜測量 
  •  FS-1提供的原位實時厚度數據,可顯著縮短ALD新參數和前驅物的開發時間 
  •  若因ALD腔室上的ports為光束載入口而無法進行原位薄膜測量 ,FS-1仍然可以進行ALD薄膜非原位厚度測量 
  •  經濟實惠

 

                      Film Sense橢偏儀已有許多在ALD反應器上進行原位薄膜測量的應用實例:

   
        美國真空製造商
Kurt J. Lesker Company
  

      科羅拉多礦業學院

         康乃狄克大學