非接觸式方塊電阻與金屬膜厚
單點量測設備
EddyCus® lab 2020 TM 為採用渦電流技術的非接觸式單點量測系統，可快速量測導電薄膜方塊電阻與金屬層厚度。 適用於研發、品質管制與製程監控，支援最大 200×200 mm（約 8×8 in）樣品尺寸，無需接觸、無需表面處理， 可對封裝／覆蓋層或粗糙表面下的導電層進行特徵化，提供高精度即時量測結果。
- 非接觸、非破壞；量測快速、重複性高
- 適用於薄金屬層、掺雜晶圓、導電聚合物等多種材料
- 支援資料儲存與匯出，便於 QC／製程追蹤
如需技術諮詢或安排 demo 測試，請直接來信 bob.lin@twyfp.com。 我們可協助確認量測需求、建議 sensor setup、以及評估樣品可行性與預期輸出。
Key Specs
快速規格一覽
以下為常見導入評估時最在意的關鍵資訊（樣品尺寸、方塊電阻範圍、sensor gap 與典型用途）。
樣品尺寸
10×10 mm² ～ 200×200 mm²（約 8×8 in）
方塊電阻範圍
0.1 mΩ/sq ～ 100 kΩ/sq（依 sensor setup）
Sensor Gap
4～20 mm 固定（可依需求客製）
典型用途
R&D／品質 QC／製程監控
Features & Benefits
優勢
非接觸即時量測
不需接觸探針、可快速取得穩定數據。
導電薄膜高精度
對薄金屬層／導電薄膜具良好解析度。
可測隱藏/封裝層
可對覆蓋、封裝或粗糙表面下導電層分析。
資料儲存與匯出
支援量測資料保存、匯出與追溯。
手動 Mapping
支援軟體輔助手動 mapping（單點多位置）。
操作直覺
介面導向清晰，適合實驗室與 QC 流程。
Areas of Application
應用領域
適用於多種導電材料與功能性薄膜結構的快速特性化與品質控管。
非透明電極
觸控面板感測
加熱／除霜
薄膜太陽能（Thin film PV）
智慧玻璃（Smart Glass）
導電紡織品
包裝導電薄膜
建築玻璃鍍膜
導電紙
鏡面鍍膜
電池電極
GaAs / GaN / Si / SiC 晶圓電阻率
印刷電子（Printed Electronics）
太陽能銀電極
晶圓金屬化
Si-wafer resistivity
Data Table
EddyCus® lab 2020 TM 規格表
以下為產品頁面常用規格資訊整理（可依實際任務與 sensor setup 調整）。
設備特點
| 項目 | 內容 |
|---|---|
| 量測技術 | 非接觸式渦電流感測器（Non-contact eddy current sensor） |
| 適用基材 | 薄膜、玻璃、晶圓等（Foils, glass, wafer, etc.） |
| 基材面積 | 8 inch／204 mm × 204 mm（三面開放） |
| 最大樣品厚度 / sensor gap（標準） | 3 / 5 / 10 / 25 mm（由最厚樣品決定） |
| 最大樣品厚度 / sensor gap（Transmission setup） | 3 – 50 mm（由最厚樣品決定） |
| Reflection setups | 無限（僅分析表面區域） |
| 可用量測功能 | 方塊電阻（Sheet resistance）／導電率（Conductivity）／電阻率（Resistivity）／電性異方性（Electrical anisotropy）／磁導率（Permeability β） |
| 量測範圍 / 精度 | 依量測任務、材料組成與受測體積而定（建議與 SURAGUS 團隊確認） |
| 設備尺寸（W/H/D） | 11.4" × 5.5" × 17.5"／290 mm × 140 mm × 445 mm |
| 重量 | 10 kg |
測量能力
| 量測項目 | 範圍 / 精度（依 sensor setup） |
|---|---|
| 方塊電阻（Sheet resistance） | Ultra low：0.008 – 10 mΩ/sq；2 – 3% accuracy Very low：0.05 – 300 mΩ/sq；1 – 3% accuracy Low：0.001 – 100 Ω/sq；1 – 3% accuracy Wide range：0.001 – 3,000 Ω/sq；1 – 5% accuracy High：100 – 300,000 Ω/sq；2 – 5% accuracy |
| 金屬膜厚（Metal layer thickness, e.g. copper） | 2 nm – 2 mm（與方塊電阻對應；可參考計算器 / 由 setup 決定） |
| 金屬膜厚量測精度（依 setup 與金屬導電率） | Low：1 – 10 nm；2 – 5% accuracy Standard：10 – 1,000 nm；1 – 3% accuracy High：1 – 100 µm；0.5 – 3% accuracy |
| 電阻率（Resistivity） | 依方塊電阻與膜厚對應（In accordance to sheet resistance and layer thickness） |
| 電性異方性（Electrical anisotropy） | 方塊電阻範圍：0.01 – 1,000 Ω/sq；1 – 5% accuracy 異方性（TD/MD）：0.33 – 3（可客製更大範圍） |
| 多參數量測（Multi parameter） | 濕膜厚度（µm）/ 重量（g/m²）/ 乾燥狀態（%） 導電率 / 電阻率（mΩ·cm）/ 磁導率（H/m）β 介電率（F/m）β |
| 量測範圍 / 精度（總述） | 依量測任務、材料組成與受測體積而定（建議與 SURAGUS 團隊確認） |