Allalin

混合式 SEM–光譜分析平台

Hybridized SEM – Spectroscopic Platform

• SEM – 定量陰極螢光（qCL）量測

• 光譜分析（Photoluminescence、Raman…）

• 時間解析量測（TRCL、TRPL、g²…）

• 電性量測（EBIC／EBAC）

• 室溫至低溫量測（< 10 K）

• 低溫奈米探針相容

關於 Allalin 混合式 SEM–光譜分析平台

Allalin 是一套奈米解析度的 SEM–光譜整合平台，在 SEM腔體內直接整合了獨特的高收光物鏡，能提供穩定且高度可重複性的測量結果，得到真正的定量陰極螢光（qCL）分析。

Allalin將 SEM 與 CL／PL／電性量測完整整合在同一平台，可同時掌握結構、缺陷、電性的特徵是材料研發與先進製程開發的關鍵工具。

一台平台，滿足多種量測需求

Allalin 平台具備高度彈性，可依照不同應用搭配多種激發源與偵測模組。使用者可選擇以電子束或雷射作為激發源，並能在連續或脈衝模式之間切換，以滿足從一般光譜量測到高速動力學研究的需求。系統可整合多類偵測器，包括 SE偵測器、PMT、CCD、Streak Camera、InGaAs、TCSPC 以及 Hybrid Photodetector（HPD），讓使用者能在不同波段與不同訊號強度的條件獲得最佳的分析結果。

此外，Allalin 的模組化架構也允許依不同需求擴充多項的功能，例如電性量測（EBIC／EBAC／RCI）、Raman 光譜、Photoluminescence（PL）以及 HBT g(2) 相關量測等，使 SEM與光譜、電性與量子光學分析結果得以真正地整合在同一平台。

在樣品承載方面，Allalin 提供多種載台選項，能從微小尺寸樣品涵蓋至 6 吋晶圓。由於整合了氦低溫恆溫器和獨特的六足平台設計，光譜分析可以在 10 K 至 320 K 的溫度範圍內進行，從而確保了高穩定性和極低的漂移（<5 nm/min）。

Allalin平台提供高度客製化的功能組合 !

依照需求提供多樣配備的選擇：

CW-CL 偵測器

• NIR 偵測器（近紅外偵測器）

• 光電倍增管（PMT）

• UV–可見光 數位影像系統

電子光源（e-sources）

• 場發射式電子光源（FEG Source）

• 皮秒光電脈衝電子光源（Picosecond photoelectric pulsed source）

• 電子束遮斷器（Beam blanker）
   

腔內導入（In-column injection）

• In-SEM 光致發光（In-SEM photoluminescence）

• In-SEM 拉曼光譜（In-SEM Raman Spectroscopy）

載台（Stage）

• 6 吋晶圓載台（6-inch Wafer stage）

• 液態氦低溫載台（Liquid Helium Cryostage）

• 奈米載台（Nanostage）

• 低溫奈米探針（Cryogenic Nanoprobes）

TR-CL 偵測器

• 條紋圖像相機（Streak Camera）

• 時間關聯單光子計數 – 混合式光偵測器（TCSPC – Hybrid Photodetector）
   

其他（Others）

• In-SEM 電性量測（In-SEM electrical measurements）

若您想了解更多關於 此產品整合的細節，熱烈歡迎與我們聯繫。

Bob.Lin@twyfp.com
James.Tseng@twyfp.com