核心特點與優勢

最寬廣的光譜範圍與最高的光譜解析度

SENTECH SENresearch 4.0 光譜橢圓偏振儀擁有極寬的光譜量測範圍（190 nm 至 3,500 nm）。利用 FTIR 橢圓偏振技術的高光譜解析度，可精準分析高達 200 µm 的厚膜。

採用 SSA 原理，無移動部件

在資料擷取過程中，沒有任何移動的光學部件，以確保最佳的量測結果。步進掃描分析儀（Step Scan Analyser, SSA） 原理是 SENresearch 4.0 的獨特核心技術。

透過創新的 2C 設計實現全穆勒矩陣（Full Mueller matrix）量測

藉由創新的 2C 設計延伸 SSA 原理，可進行全穆勒矩陣的量測。2C 設計是一項可在現場升級且極具成本效益的配件。

SENTECH SENresearch 4.0 在近紅外（NIR）波段（分別可達 2,500 nm 或 3,500 nm）採用了快速 FTIR 橢圓偏振技術。它提供了最寬的光譜範圍、最佳的訊噪比（S/N ratio）以及最高且可調的光譜解析度，可量測厚度達 200 µm 的矽薄膜。FTIR 橢圓偏振技術的量測速度堪比二極體陣列（diode array）配置，後者亦可供選擇（波長最高可達 1,700 nm）。

自動高度與傾角調整

多樣化選配功能與現場可升級配件

電動金字塔型測角儀（20° – 100°）

廣泛支援各大產業應用

SENresearch 4.0 的選配功能可支援以下領域的多元應用：

• 微電子 (Microelectronics)

• 玻璃鍍膜 (Glass coatings)

• 顯示器技術 (Display technology)

• 生物科學 (Bioscience)

• 生命科學 (Life science)

靈活性與模組化設計

電動金字塔型測角儀的角度範圍為 20° 至 100°。內建的光學編碼器（Optical encoders）可確保角度設定的極高精準度與長期穩定性。光譜橢圓偏振儀的量測臂可獨立移動，以進行散射測量（scatterometry）和角度分辨透射（angle-resolved transmission）量測。

本設備基於步進掃描分析儀（SSA）原理運作。SSA 將強度量測與機械運動解耦，因此即使是粗糙的樣品表面也能進行精準分析。在資料擷取期間，所有光學部件皆保持靜止。此外，SENTECH SENresearch 4.0 還包含用於 mapping 和 in-situ 應用的快速量測模式。

SENresearch 4.0 可針對標準和進階應用進行量身定制的配置。應用範例包括：介電層堆疊、紋理化表面，以及光學與結構性（3D）各向異性（anisotropic）樣品。系統內建了多種預定義的檢測 recipes，方便直接調用。

SpectraRay/4 是本設備專用的全方位光譜橢圓偏振軟體。它包含兩種操作模式：

• Recipe mode： 可輕鬆執行常規的例行性量測應用。

• Interactive mode： 透過直觀的圖形使用者介面，引導使用者進行進階的橢圓偏振分析與量測。

配置方案

選配項目	現場可升級配件	光譜範圍
手動測角儀 電動金字塔型測角儀 原位、在線與桌上型配置 反射儀	全域檢測鏡台 (Mapping) 各向異性樣品旋轉台 2C 全穆勒矩陣量測模組 影像式自動對準系統 微聚焦光斑 (Microspots) 液體樣品槽 加熱與冷卻控溫溫台 透射率量測固定架	DUV – VIS: 190 – 1,000 nm / 240 – 1,000 nm NIR (Diode-Array): 190 – 1,700 nm / 240 – 1,700 nm NIR (FTIR): 190 – 2,500 nm / 190 – 3,500 nm 240 – 2,500 nm / 240 – 3,500 nm