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HEX-L 與 HEX-XL 2026 年度升級重點

我們很高興宣布 HEX-L 與 HEX-XL 系統將於 2026 年推出多項重要升級。 本次更新延續 HEX 系列高度模組化的核心設計，使系統在結構、操作體驗 與配置彈性上再進一步提升。

• 全整合式機櫃／底座設計－提升結構穩定性與使用友善度，同時簡化安裝流程。
• 線材管理優化－系統配置更整潔，並維持良好的維護可及性。
• 高階第三方整合－標準選配納入 UHV Design Ltd 傳送臂。
• 多樣化磁控濺鍍源選擇－包含創新的 FLEX™ 技術，以支援更精準的系統配置。
• 軟體功能升級－簡化製程配方建立流程，縮短設定時間並提升製程重現性。