nXF-3
自由曲面 測量系統
產品的3D表面形狀測量 具有各種曲面和反光/粗糙表面 nXF-3是世界上第一個使用“偏光測量法”測量高度反射或透明產品(如晶圓和膜)的翹曲和彎曲的產品。 它提供了定量和精確的測量值以及產品的表面形狀,有助於提高工藝穩定性和效率。此外,它可以測量和檢查各種反光材料的表面形狀,以高可靠性測量膜表面的翹曲和凹陷、二次電池袋、氫電池薄板、汽車塗料等等。
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產品特色
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- 檢查光滑或透明產品表面
- 應用各種視場(Field of View,FOV)
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- 適用於大規模生產線
- 高精度
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- 簡單的測量流程
- 多種數據分析
- 簡單的使用者界面
應用
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Wheel Mark
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Wafer Warpage
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Battery
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Automotive