Nexensor 2D3D光學表面形貌量測
nXF-3 自由曲面量測系統:12吋Wafer翹曲量測(warpae/bow)
詳細介紹

nXF-3

自由曲面  測量系統

產品的3D表面形狀測量 具有各種曲面和反光/粗糙表面 nXF-3是世界上第一個使用“偏光測量法”測量高度反射或透明產品(如晶圓和膜)的翹曲和彎曲的產品。 它提供了定量和精確的測量值以及產品的表面形狀,有助於提高工藝穩定性和效率。此外,它可以測量和檢查各種反光材料的表面形狀,以高可靠性測量膜表面的翹曲和凹陷、二次電池袋、氫電池薄板、汽車塗料等等。

 

 

 


產品特色
                 
  • 檢查光滑或透明產品表面
  • 應用各種視場(Field of View,FOV)
         
  • 適用於大規模生產線
  • 高精度
              
  • 簡單的測量流程
  • 多種數據分析
  • 簡單的使用者界面



應用

Wheel Mark

Wafer Warpage

Battery

Automotive