HPT系列 電漿表面處理系統
低壓表面清潔、改質、活化、蝕刻等的優良工具，適用於各種材料，包括金屬，陶瓷，複合材料，塑料，聚合物和生物材料。
主要應用於處理複合物材料、PDMS微流控裝置、顯微鏡樣品清理、光學及金屬清理、生物醫學應用和醫療器材製造。
產品特色
- 耐用的不鏽鋼腔體
- 適用於多種氣體，包含氧氣、氫氣、氬氣或氮氣等，以達到最佳清潔效果
- 汽化輸送口具耐鏽蝕性，能處理特定物質，如：聚二甲基矽氧烷＆微流控裝置、聚醚醚銅＆工程聚合物及聚四氟乙烯
- 高穩定度，發電機持續變動於0-300瓦間，使處理特定材料時更為穩定
- 高可靠度，流量控制採 MFC 數位控制，可精準控制氣體流量
- 高自動化，觸控操作介面且結合安全互鎖功能
| HPT-100 | HPT-200 | HPT-300 | HPT-500 | |
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外觀尺寸／重量 |
55ｘ52ｘ28.6公分 22公斤 |
55ｘ52ｘ28.6公分 23公斤 |
61.5ｘ53.3ｘ46.6公分 43公斤 |
61.5ｘ53.3ｘ60公分 45公斤 |
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腔體 |
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材質 |
不鏽鋼 |
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形狀 |
圓柱型 |
長方型 (可改為圓柱型) |
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尺寸 |
10ｘ28公分 |
15ｘ28公分 |
32x20x20公分 |
40.5x24x24公分 |
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層架 |
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材質 |
鋁 |
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尺寸 |
25.5ｘ9公分 |
25.5ｘ13.5公分 |
31ｘ19公分 |
37ｘ20公分 |
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電力 |
0-100 W |
0-200 W |
0-250 W |
0-300 W |
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赫茲 |
40KHz |
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程序控制 |
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操作介面 |
5.7彩色液晶螢幕 |
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氣道 |
1個MFC (可選配至2個MFC、1個MFC&1個蒸汽口) |
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排氣口 |
１個 (可插軟管) |
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連接器 |
６公分 |
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製程時間 |
1秒至99.95分鐘 |
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壓力計 |
Pirani |
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真空泵 |
2階旋轉 ＊適用於空氣、氧氣及其他非腐蝕性氣體 |
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其他 |
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電力 |
110-250 AC、50-60赫茲、450伏安(含泵)、熔絲6.3 |
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認證 |
CE、ROHS、WEEE |
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