HPT系列 真空電漿表面處理系統
真空低壓表面清潔、改質、活化、蝕刻等的優良工具，適用於各種材料，包括金屬，陶瓷，複合材料，塑料，聚合物和生物材料。
主要應用於處理複合物材料、PDMS微流控裝置、顯微鏡樣品清理、光學及金屬清理、生物醫學應用和醫療器材製造。
產品特色
- 耐用的不鏽鋼腔體
- 適用於多種氣體，包含氧氣、氫氣、氬氣或氮氣等，以達到最佳清潔效果
- 汽化輸送口具耐鏽蝕性，能處理特定物質，如：聚二甲基矽氧烷＆微流控裝置、聚醚醚銅＆工程聚合物及聚四氟乙烯
- 高穩定度，發電機持續變動於0-300瓦間，使處理特定材料時更為穩定
- 高可靠度，流量控制採 MFC 數位控制，可精準控制氣體流量
- 高自動化，觸控操作介面且結合安全互鎖功能
| HPT-100 FI HPT-100 SI HPT-100 DI |
HPT-200 FI HPT-200 SI HPT-200 DI |
HPT-300 FI HPT-300 SI HPT-300 DI |
HPT-500 FI HPT-500 SI HPT-500 SI |
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外觀尺寸／重量 |
55ｘ52ｘ28.6公分 ~22公斤 |
55ｘ52ｘ28.6公分 ~23公斤 |
61.5ｘ53.3ｘ46.6公分 43公斤 |
61.5ｘ53.3ｘ60公分 45公斤 |
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腔體 |
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材質 |
不鏽鋼 |
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形狀 |
圓柱型 |
長方型 (可改為圓柱型) |
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尺寸 |
10ｘ28公分 |
15ｘ28公分 |
32 x 20 x 20公分 |
40.5 x 24 x 24公分 |
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放料盤 |
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材質 |
鋁 |
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尺寸 |
25.5ｘ9公分/層 |
25.5ｘ13.5公分/層 |
31ｘ19公分/層 |
37ｘ20公分/層 |
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電漿瓦數 |
100 W(可調式) |
200 W(可調式) |
250 W(可調式) |
300 W(可調式) |
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頻率 |
40KHz |
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程序控制 |
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操作介面 |
5.7" 彩色液晶螢幕 |
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氣道 |
SI單進氣道: 1個MFC / DI雙進氣道: 2個MFC [可客製水蒸氣進氣口] ; FI: 電漿作用氣體為空氣 |
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排氣口 |
１個 (可空氣破真空，亦可插軟管以特定氣體破真空) |
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進氣軟管 |
６mm軟管 |
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製程時間 |
可設定1秒~99分59秒 |
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壓力計 |
Pirani(製程中顯示即時壓力值於操作螢幕上) |
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真空幫浦 |
2階旋轉 (可選油性幫浦or乾性幫浦) |
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其他 |
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電力 |
210-250 VAC、50-60赫茲、1500伏安(含泵)、熔絲6.3 |
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認證 |
CE、UKCA、ROHS、WEEE |
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