Henniker Plasma 低損電漿表面處理
量產型 Nebula系列 真空電漿表面處理系統
詳細介紹

Nebula系列 電漿表面處理系統(此系列由HPT系列基礎延伸)

容量真空腔室能同時處理多件樣品,不論是直立或橫放的物件,另搭配選轉結構亦能處理小型零件。靈活運用在研究領域及前置電漿處理。可透過工業PLC系統控制,使用者能串連整個操作流程。經常應用於改善黏著度、親水性和疏水性塗層。
此系列可客製化增加至三個汽體出口及1個單體投量口,即可進行永久性的聚合物塗層於各種表面上。

 

  NEBULA

外觀尺寸/重量
(
XX)

85.261.2187.5公分

100 - 120公斤

腔體

材質/形狀

不鏽鋼 / 長方形

尺寸

30公升:303036.5公分

50公升:303056公分

100公升:404062.5公分

150公升:406062.5公分

層架

材質/形狀

鋁、不鏽鋼/水平扁盤、垂直架、旋轉支架

電源供應

瓦數/赫茲

0-1000 W40千赫兹

程序控制

操作介面

15吋彩色液晶螢幕、Windows 10PLC控制

氣道

1-3個數位式氣體質量控制器 (可改為蒸氣計量入口)

排氣口

1個(可選軟管)

連接器

6公分

計時器範圍

1秒至99.95分鐘

壓力計

派藍尼感應器

真空泵

2階旋轉

 

*適用於空氣、氧氣及其他非腐蝕性氣體

其他

電力

380-400 VAC/3相5線 (R/S/T/N/PE), max. current 16A/phase, 50赫茲

認證

CEROHSWEEE