第三代 FS-1™多波長橢偏儀

高速、高可靠度薄膜量測，監測薄膜沉積與蝕刻製程
多波長量測不同材質、不同薄膜甚至透明薄膜及多層薄膜分析，不需耗費大量作業時間等候即可快速取得分析報告。
享單波長橢偏儀的價格，達全光譜橢偏儀的效能。

多波長優勢

量測透明薄膜厚度
其他參數量測，如：表面粗糙度、多層膜厚及分散係數等
可連續監測參數，提供6種波長之分析報告
參數分析可媲美光譜橢圓偏振器

產品特色

量測反射之偏振光參數
0-2 ㎛膜厚之量測、精度低至0.0004nm
多種LED光源，波長介於280-950奈米
量測表面的光學常數（n值：折射係數、k值：吸收係數）
搭載專屬軟體，輕鬆監控獲取數據分析
應用領域：薄膜製程、顯示器、LED、化工材料

軟體特色

免費網頁瀏覽介面，兼容所有電腦類性及支援任何程式 (亦可配備offline桌面板程式軟體)
可設定多種n&k值，以供更多樣量測數據，如下：

多層薄膜厚量測
同時量測橢圓偏振數和傳輸係數
波散模型

多種分析模式
模擬單一量測或動態數據以產出「差異與參數值報告」

FS-1™ G3 橢偏儀

4個波長，光譜範圍略寬 (相較於初代FS-1)：450 – 660 nm
測量0-2μm厚度範圍內的單層透明膜的理想選擇，精度高至0.0004 nm
電動光源偏光板：
- 增加自動校正系統
- 區域平均測量，提升量測準確率
強度提高4倍（與初代FS-1相比）
精度提高2倍
原位對準更容易

FS-1EX™ 橢偏儀

6個波長，光譜範圍：405 – 950 nm
2個較長波長 (850和950nm) 可測量較厚的透明膜 (0-5μm)，並可以吸收半導體膜 (例如多晶矽，SiGe，非晶矽等)。
膜電阻率測量 (使用Drude模型) 也隨著2個更長波長的使用而得到改善。
6個波長和更寬的光譜範圍為多層膜堆疊提供了增強的測量能力。
電動光源偏光板：
- 增加自動校正系統
- 區域平均測量，提升量測準確率
強度提高4倍 (與初代FS-1相比)
精度提高2倍
原位對準更容易

FS-1 軟體

Film Sense 軟體分析橢偏數據，並從測量中得出的樣品參數（厚度、折射率等）。軟體架於探測器中，用戶操作介面為網頁瀏覽器，可支援瀏覽器（Windows、Mac OS X、Linux、iOS、Android）的PC、筆電或平板都可透過乙太網路連接來操作Film Sense 橢偏儀，其主要優點是不需要安裝軟體，大大簡化了 Film Sense 橢偏儀的設置和操作。（亦可加購軟體桌面版以進行離線分析）

FS-1 軟體功能：

標準、原位多層、多樣本、軌跡和近表面數據分析模式。
多達 10 個模型層，可選擇表面粗糙度和基板背面校正。
參數範圍和起始增量可用於符合參數收斂
具溫度或成分相關的光學常數資料庫
去極化或透射強度數據可以與多波長數據分析相結合
可模擬單次測量或動態數據，並測試可信賴的差值及參數值
繪製擬合差異與參數值。
數值符合90%信賴界線和相關矩陣，並可估計參數準確度。

基本光學量測規格

	FS-1^TM (Gen 3)	FS-1EX^TM(Gen 3)
波長數量	4個	6個
光譜範圍	450-660nm	405-950nm
光學系統	光源 142 x 80 x 60 mm 檢測器 110 x 80 x 60 mm	光源 142 x 80 x 60 mm 檢測器 110 x 80 x 60 mm
特色	FS-1第三代加載自動校正系統	FS-1第三代加載自動校正系統 850與950nm波長可量測較厚薄膜(up to 5μm)，並可吸收半導體膜(多矽晶、矽鍺、非晶矽)
適用於	0-2μm單層透明膜量測	0-5μm單層透明膜量測/多層膜堆疊量測

FS-1EX^TM搭載自動變換技術系列
FS-XY100及FS-RT300兩款由FS-1EX^TM搭載不同變換平台，實現快速及精準薄膜均勻性的量。

	FS-RT300
量測點位數	直徑30公分 49個點位
結構	40x50公分 20公斤
移動平台	線性移動／360度旋轉
解析度	12微米／0.1度

特點
● 8段波長 (370, 450, 525, 595, 660, 735, 850, 950 nm)
● LED光源
● 0-5微米膜厚量測
● 薄膜重複性：0.015奈米
● 結合聚焦探針，光斑尺寸為0.8x1.9毫米
● 透過Z軸，自動調整樣品

膜厚解決方案：

另提供靜態、動態非接觸式光學

量測方案與技術專案

Address ｜地址

302 新竹縣竹北市高鐵七路65-3號

Phone ｜電話

03-6585240

Email ｜郵件

eddy.chen@twyfp.com