- 高速、高可靠度薄膜量測,監測薄膜沉積與蝕刻製程
- 多波長量測不同材質、不同薄膜甚至透明薄膜及多層薄膜分析,不需耗費大量作業時間等候即可快速取得分析報告。
- 享單波長橢偏儀的價格,達全光譜橢偏儀的效能。

多波長優勢
- 量測透明薄膜厚度
- 其他參數量測,如:表面粗糙度、多層膜厚及分散係數等
- 可連續監測參數,提供6種波長之分析報告
- 參數分析可媲美光譜橢圓偏振器
產品特色
- 量測反射之偏振光參數
- 0-2 ㎛ 膜厚之量測、精度低至0.0004nm
- 多種LED光源,波長介於280-950奈米
- 量測表面的光學常數(n值:折射係數、k值:吸收係數)
- 搭載專屬軟體,輕鬆監控獲取數據分析
- 應用領域:薄膜製程、顯示器、LED、化工材料
軟體特色
- 免費網頁瀏覽介面,兼容所有電腦類性及支援任何程式 (亦可配備offline桌面板程式軟體)
- 可設定多種n&k值,以供更多樣量測數據,如下:
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多層薄膜厚量測
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同時量測橢圓偏振數和傳輸係數
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波散模型
- 多種分析模式
- 模擬單一量測或動態數據以產出「差異與參數值報告」
FS-1™ G3 橢偏儀
- 4個波長,光譜範圍略寬 (相較於初代FS-1):450 – 660 nm
- 測量0-2μm厚度範圍內的單層透明膜的理想選擇,精度高至0.0004 nm
- 電動光源偏光板:
- 增加自動校正系統
- 區域平均測量,提升量測準確率
- 強度提高4倍(與初代FS-1相比)
- 精度提高2倍
- 原位對準更容易
FS-1EX™ 橢偏儀
- 6個波長,光譜範圍:405 – 950 nm
- 2個較長波長 (850和950nm) 可測量較厚的透明膜 (0-5μm),並可以吸收半導體膜 (例如多晶矽,SiGe,非晶矽等)。
- 膜電阻率測量 (使用Drude模型) 也隨著2個更長波長的使用而得到改善。
- 6個波長和更寬的光譜範圍為多層膜堆疊提供了增強的測量能力。
- 電動光源偏光板:
- 增加自動校正系統
- 區域平均測量,提升量測準確率
- 強度提高4倍 (與初代FS-1相比)
- 精度提高2倍
- 原位對準更容易

FS-1 軟體
Film Sense 軟體分析橢偏數據,並從測量中得出的樣品參數(厚度、折射率等)。 軟體架於探測器中,用戶操作介面為網頁瀏覽器,可支援瀏覽器(Windows、Mac OS X、Linux、iOS、Android)的PC、筆電或平板都可透過乙太網路連接來操作Film Sense 橢偏儀,其主要優點是不需要安裝軟體,大大簡化了 Film Sense 橢偏儀的設置和操作。 (亦可加購軟體桌面版以進行離線分析)
FS-1 軟體功能:
- 標準、原位多層、多樣本、軌跡和近表面數據分析模式。
- 多達 10 個模型層,可選擇表面粗糙度和基板背面校正。
- 參數範圍和起始增量可用於符合參數收斂
- 具溫度或成分相關的光學常數資料庫
- 去極化或透射強度數據可以與多波長數據分析相結合
- 可模擬單次測量或動態數據,並測試可信賴的差值及參數值
- 繪製擬合差異與 參數值。
- 數值符合90%信賴界線和相關矩陣,並可估計參數準確度。
基本光學量測規格
FS-1TM (Gen 3) | FS-1EXTM (Gen 3) | ||
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波長數量 | 4個 | 6個 | |
光譜範圍 | 450-660nm | 405-950nm | |
光學系統 | 光源 142 x 80 x 60 mm 檢測器 110 x 80 x 60 mm |
光源 142 x 80 x 60 mm 檢測器 110 x 80 x 60 mm |
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特色 | FS-1第三代加載自動校正系統 | FS-1第三代加載自動校正系統 850與950nm波長可量測較厚薄膜(up to 5μm), 並可吸收半導體膜(多矽晶、矽鍺、非晶矽) |
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適用於 | 0-2μm單層透明膜量測 | 0-5μm單層透明膜量測/多層膜堆疊量測 |
FS-1EXTM搭載自動變換技術系列
FS-XY100及FS-RT300兩款由FS-1EXTM搭載不同變換平台,實現快速及精準薄膜均勻性的量。
FS-XY150 | FS-RT300 | |
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量測點位數 | 直徑15公分 49個點位 |
直徑30公分 49個點位 |
結構 | 60x60公分 16公斤 |
40x50公分 20公斤 |
移動平台 | X, Y軸 | 線性移動/360度旋轉 |
解析度 | 5微米 | 12微米/0.1度 |
特色 |
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FS-XY150

FS-RT300

膜厚解決方案:
另提供靜態、動態非接觸式光學
量測方案與技術專案
Address | 地址
302 新竹縣竹北市高鐵七路65-3號
Phone | 電話
03-6585240
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eddy.chen@twyfp.com