多波長橢圓儀
(New) FS-1™多波長橢偏儀:2021年全新推出第三代
詳細介紹
  • 高速、高可靠度薄膜量測,監測薄膜沉積與蝕刻製程
  • 多波長量測不同材質、不同薄膜甚至透明薄膜及多層薄膜分析,不需耗費大量作業時間等候即可快速取得分析報告。
  • 享單波長橢偏儀的價格,達全光譜橢偏儀的效能。





 
多波長優勢
  • 量測透明薄膜厚度
  • 其他參數量測,如:表面粗糙度、多層膜厚及分散係數等
  • 可連續監測參數,提供6種波長之分析報告
  • 參數分析可媲美光譜橢圓偏振

產品特色

  • 量測反射之偏振光參數
  • 0-2 ㎛ 膜厚之量測、精度低至0.0004nm
  • 多種LED光源,波長介於280-950奈米
  • 量測表面的光學常數(n值:折射係數、k值:吸收係數)
  • 搭載專屬軟體,輕鬆監控獲取數據分析
  • 應用領域:薄膜製程、顯示器、LED、化工材料


軟體特色

  • 免費網頁瀏覽介面,兼容所有電腦類性及支援任何程式 (亦可配備offline桌面板程式軟體) 
  • 可設定多種n&k值,以供更多樣量測數據,如下:
  1. 多層薄膜厚量測

  2. 同時量測橢圓偏振數和傳輸係數

  3. 波散模型

  • 多種分析模式
  • 模擬單一量測或動態數據以產出「差異與參數值報告」
 

 

  




FS-1™ (第三代) 橢偏儀

  • 4個波長,光譜範圍略寬 (相較於初代FS-1):450 – 660 nm
  • 測量0-2μm厚度範圍內的單層透明膜的理想選擇,精度高至0.0004 nm
  • 電動光源偏光板:
    • 增加自動校正系統
    • 區域平均測量,提升量測準確率
  • 強度提高4倍(與初代FS-1相比)
  • 精度提高2倍
  • 原位對準更容易

FS-1EX™ (第三代) 橢偏儀

  • 6個波長,光譜範圍:405 – 950 nm
  • 2個較長波長 (850和950nm) 可測量較厚的透明膜 (0-5μm),並可以吸收半導體膜 (例如多晶矽,SiGe,非晶矽等)。
  • 膜電阻率測量 (使用Drude模型) 也隨著2個更長波長的使用而得到改善。
  • 6個波長和更寬的光譜範圍為多層膜堆疊提供了增強的測量能力。
  • 電動光源偏光板:
    • 增加自動校正系統
    • 區域平均測量,提升量測準確率
  • 強度提高4倍 (與初代FS-1相比)
  • 精度提高2倍
  • 原位對準更容易



FS-1 軟體

Film Sense 軟體分析橢偏數據,並從測量中得出的樣品參數(厚度、折射率等)。 軟體架於探測器中,用戶操作介面為網頁瀏覽器,可支援瀏覽器(Windows、Mac OS X、Linux、iOS、Android)的PC、筆電或平板都可透過乙太網路連接來操作Film Sense 橢偏儀,其主要優點是不需要安裝軟體,大大簡化了 Film Sense 橢偏儀的設置和操作。 (亦可加購軟體桌面版以進行離線分析)

FS-1 軟體功能:

  • 標準、原位多層、多樣本、軌跡和近表面數據分析模式。
  • 多達 10 個模型層,可選擇表面粗糙度和基板背面校正。
  • 參數範圍和起始增量可用於符合參數收斂
  • 具溫度或成分相關的光學常數資料庫
  • 去極化或透射強度數據可以與多波長數據分析相結合
  • 可模擬單次測量或動態數據,並測試可信賴的差值及參數值
  • 繪製擬合差異與 參數值。
  • 數值符合90%信賴界線和相關矩陣,並可估計參數準確度。

 

 

基本光學量測規格

  FS-1TM (Gen 3) FS-1EXTM (Gen 3) 
波長數量 4個 6個
光譜範圍 450-660nm 405-950nm
光學系統 光源 142 x 80 x 60 mm
檢測器 110 x 80 x 60 mm
光源 142 x 80 x 60 mm
檢測器 110 x 80 x 60 mm
特色 FS-1第三代加載自動校正系統 FS-1第三代加載自動校正系統
850與950nm波長可量測較厚薄膜(up to 5μm),
並可吸收半導體膜(多矽晶、矽鍺、非晶矽)
適用於 0-2μm單層透明膜量測 0-5μm單層透明膜量測/多層膜堆疊量測

FS-1EXTM搭載自動變換技術系列
FS-XY100及FS-RT300兩款由FS-1EXTM搭載不同變換平台,實現快速及精準薄膜均勻性的量。
  FS-XY150 FS-RT300
量測點位數 直徑15公分
49個點位
直徑30公分
49個點位
結構 60x60公分
16公斤
40x50公分
20公斤
移動平台 X, Y軸 線性移動/360度旋轉
解析度 5微米 12微米/0.1度
特色
  • 6段波長(405、450、525、660、850、950奈米)
  • LED光源
  • 0-5微米膜厚量測
  • 薄膜重複性:0.015奈米
  • 結合聚焦探針,光斑尺寸為0.8x1.9毫米
  • 透過Z軸,自動調整樣品

FS-XY150

FS-RT300

Address | 地址

302 新竹縣竹北市高鐵七路65-3號

Phone | 電話

03-6585240 

Email | 郵件

joanne.chou@twyfp.com