用於多層薄膜裝置的納米結構三維測量技術 光譜干涉方法的原理是通過一個分散元件結構來獲得光譜干涉信號，一次性獲取多層薄膜結構的表面形狀和多層薄膜的厚度的線條輪廓信息。 就水平分辨率而言，它由目標鏡頭的放大倍率確定，因此可以在比現有的反射率和橢圓度測量具有更高水平分辨率的情況下，以納米級精度測量多層薄膜的表面形狀。