Rotary Feedthroughs 旋轉軸密封件
RF-HS-F-Semi (Flange) _ Hollow Shft Type
詳細介紹

RF-HS-F-Semi (Flange)


 
RF-HS-F-Semi 系列 (為磁封，也稱磁液封) 是專為半導體產業所設計

規格
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旋轉軸密封件 軸徑 Ø6 ~ Ø1,200mm
溫度範圍 -20 ~ 150℃ / -4 ~ 300℉ (無冷卻系統)
-20 ~ 400℃ / -4 ~ 750℉ (選配冷卻系統)
介質種類 氣體和液體（反應性氣體、慣性氣體、水、油、蒸汽、空氣、化學品、冷卻液以及各種其他介質）
轉速 Max. 15 m/s
真空 Max. 10-8 Torr, Max. 10-6 Pa
壓力 Max. 50 bar (PV Limits : Max. 50)
洩漏率 真空 Up to 7.5 x 10-10 Pa.m³/s 使用氦氣滲漏檢測儀
壓力 Up to 0.5 psi/min 使用氮氣
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標準尺寸
英制尺寸
Model No. ØA ØB ØC ØD H L M N G K
RF-HS-250FN 0.250 2.312 2.73 1.50 4.06 2.56 0.5 0.75 0.265 O-Ring
RF-HS-375FN 0.375 2.312 2.73 1.50 4.56 3.06 0.50 0.75 0.265 O-Ring
RF-HS-500FN 0.500 4.750 6.00 2.87 6.03 3.56 0.38 1.25 0.750 O-Ring
RF-HS-750FN 0.750 4.750 6.00 2.87 6.03 3.562 0.38 1.218 0.750 O-Ring

 公制尺寸
Model No. ØA ØB ØC ØD ØE H L M N G K
RF-HS-010FN 10 70 90 51 34 78 64 10 10 4-Ø10 O-Ring
RF-HS-020FN 20 85 105 63 44 82.5 68.5 10 10 4-Ø10 O-Ring
RF-HS-025FN 25 100 120 71 49 88 74 10 10 4-Ø10 O-Ring
RF-HS-030FN 30 100 120 78 54 93 79 10 10 4-Ø10 O-Ring
RF-HS-040FN 40 120 145 90 69 96 80 10 10 4-Ø12 O-Ring
RF-HS-050FN 50 135 160 103 79 98 82 12 12 4-Ø12 O-Ring
RF-HS-075FN 75 185 210 143 109 115 96 12 12 4-Ø12 O-Ring
型號
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