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XVA-160αⅡ”Z” 高解析度3D X-ray CT (斷層掃描)
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FS-4 經濟型波段橢偏儀-膜厚量測
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FS-RT300 12吋自動mapping多波段橢偏儀
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FS-RT300 12吋自動mapping多波段橢偏儀
FS-8 高精度八波段橢偏儀-膜厚量測
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FS-8 高精度八波段橢偏儀-膜厚量測
Korvus HEX 三合一桌上型PVD系統
HEX系列體積小巧且靈活度高,使用者可以完全自由的組裝及配置設備,以滿足當前的實驗需求或未來的方向變化。
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Korvus HEX 三合一桌上型PVD系統
真空電漿 TEM清洗系統
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量產型 Nebula系列 真空電漿表面處理系統
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噴炬型 Cirrus & Nimbus 大氣電漿表面處理設備
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桌上型 HPT系列 真空電漿表面處理系統
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nXM-1 大面積快速3D量測DMD系統:表面形貌/翹曲量測
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nXV-1 光譜干涉雷射位移感測系統:膜層分離、厚度量測
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nXF-3 自由曲面量測系統:12吋Wafer翹曲量測(warpae/bow)
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