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新元鋒精密股份有限公司
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UniTemp 高真空熱製程
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Intlvac 離子束蝕刻
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Nexensor 2D3D光學表面形貌量測
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2/2雙穩態閥
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2/2雙穩態閥
驅動器
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驅動器
Korvus HEX 三合一桌上型PVD系統
HEX系列體積小巧且靈活度高,使用者可以完全自由的組裝及配置設備,以滿足當前的實驗需求或未來的方向變化。
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Korvus HEX 三合一桌上型PVD系統
TES0702
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TES0702
TES0704
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TES0704
TES0940
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TES0940
TES0903
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TES0903
TES0902-M10
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TES0902-M10
R-200 標準型
PICOSUN™ R-200標準ALD系統適用於IC元件、MEMS元件、顯示器
LED、雷射及鏡片、光學器件、珠寶、硬幣和醫療植入器械等3D物件等的研發。
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R-200 標準型
R-200 高級型
PICOSUN™ R-200高級ALD系統適用於IC元件、MEMS元件、顯示器、LED、雷射及鏡片、光學器件和醫療植入器械等半導體應用物件的研發。
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R-200 高級型
nXV-1 光譜干涉雷射位移感測系統:膜層分離、厚度量測
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nXV-1 光譜干涉雷射位移感測系統:膜層分離、厚度量測
nXF-3 自由曲面量測系統:12吋Wafer翹曲量測(warpae/bow)
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nXF-3 自由曲面量測系統:12吋Wafer翹曲量測(warpae/bow)
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