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Tag : 低損傷蝕刻

2026-08-20

Sentech 從氣體感測到量子感測：低損傷的共同要求

AlGaN 開放閘極、鑽石 NV 色心、MEMS 鋁層——三種感測器材料，同一個...
Sentech 從氣體感測到量子感測：低損傷的共同要求
- PEALD
- ICPECVD
- ICP-RIE
- 氮化鎵
- SENTECH
- 低損傷蝕刻
- PECVD
- 電漿蝕刻
2026-08-13

Sentech 用於量子點、超導元件與光學量子晶片的精密電漿...

量子科技（包含量子計算、量子通訊與量子感測）對微奈米加工製程有極高的低損傷與高精...
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