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Tag : ICP-RIE

2026-08-20

Sentech 從氣體感測到量子感測：低損傷的共同要求

AlGaN 開放閘極、鑽石 NV 色心、MEMS 鋁層——三種感測器材料，同一個...
Sentech 從氣體感測到量子感測：低損傷的共同要求
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2026-08-18

Sentech 品質保證（Quality Control）應...

Sentech 品質保證（Quality Control）應...
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2026-08-14

Sentech GaN 與 SiC：功率元件的材料主戰場

從 GaN 錐狀結構蝕刻到 SiC 薄膜沉積與 SiO₂ 保形溝槽填充，SENT...
Sentech GaN 與 SiC：功率元件的材料主戰場
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